Kui elutähtis onmolübdeenvardad pooljuhtide tööstuselemõõtmete stabiilsus?
Monokristallilise räni või safiiri kasvatamise töökodades võtab kristallide tõmbamise protsess sageli kümneid või isegi sadu tunde ning temperatuurivälja tuleb täpselt kontrollida üle 1400 kraadi. Kui soojusvälja komponendi deformatsioon on isegi 0,5 mm, võib kristalli läbimõõt kõikuda, dislokatsioonitihedus võib suureneda ja saagismäär väheneb otseselt. Paljude inseneride jaoks ei valmista suurimat peavalu mitte äkiline purunemine, vaid "nähtamatu" roomamine ja soojuse kuhjumine.
Nende hulgas kasutatakse molübdeenvardaid soojusvälja tugivarraste, seemnekristallklambrite või küttekomponentide põhikonstruktsioonimaterjalidena ning nende mõõtmete stabiilsus madalal{0}}kuumusel ja kõrgel{1}}temperatuuril on muutunud otsustavaks teguriks. Molübdeeni enda termiline koefitsient on väga madal, kuid erineva puhtuse ja töötlemistehnoloogiaga molübdeenvarraste jõudlus varieerub pikaajalisel-kõrgel temperatuuril ja vaakumis suuresti. Tavalised paagutatud molübdeenvardad on pärast korduvaid termilisi tsükleid altid terade kasvust põhjustatud mikro-pikenemisele, samas kui kõrge-puhtusastmega molübdeenvardad, mis on läbinud mitmesuunalise sepistamise ja kõrgel-temperatuuril lõõmutamise, on ühtlasema tera orientatsiooniga ja oluliselt parema roomamiskindlusega. Kumulatiivset deformatsiooni kontrollitakse väga väikeses vahemikus.
Kasutasime tehast, mis valmistas 6-tolliseid safiirkristallvardaid. Algusaegadel kasutati tavapäraseid molübdeeni tugivardaid. Soojusvälja tuli kalibreerida iga paari kristalli tõmbamise järel ja saagis oli 65%. Hiljem, pärast pooljuhtkvaliteediga molübdeenvarda asendamist meie optimeeritud terastruktuuriga, pikenes pidev tõmbamisaeg ühes ahjus, soojusvälja kõikumine vähenes oluliselt, valmiskristalli läbimõõdu konsistents paranes ja üldine saagis suurenes ligi 15 protsendipunkti. Vähem komponentide vahetust ja väiksem parameetrite reguleerimine toob kaasa mitte ainult kulude vähenemise, vaid ka tootmisrütmi stabiilsuse.
Miks see punkt nii kriitiline on? Kuna pooljuhtkristallide kasv on tüüpiline "aeglase töö ja peene töö" protsess, võimendub igasugune väikese suurusega triiv läbi temperatuurigradiendi ja kajastub lõpuks kristallide defektides. Kvaliteetsed-molübdeenvardad vähendavad selle triivi riski, võimaldades protsessiinseneridel keskenduda kindlamalt valukiirusele ja juhtimisele, selle asemel et muretseda konstruktsiooni deformatsioonide pärast.
Praeguses suurtes -mõõtmetes kristallide ja kolmanda- põlvkonna pooljuhtmaterjalide kiires staadiumis muutuvad nõuded seadmete stabiilsusele üha kõrgemaks. Molübdeenvarras, mille pinnal pole erinevusi, võib tegelikult määrata, kui palju kvalifitseeritud vahvleid iga kuu toodetakse.
Kui tegelete ühe-kristalli kasvatamise seadme hooldusega, soojusvälja uuendamisega või uue projekti valikuga, rääkige mulle praegu tekkinud soojusvälja stabiilsuse või kristalliprobleemidest. Saame kombineerida spetsiifilise temperatuurikõvera ja seadmete struktuuri, et anda sihipärasemat molübdeenvarraste materjali ja töötlemissoovitusi, mis aitavad täielikult kontrollida "nähtamatuid" varjatud deformatsiooniohtusid.
Stabiliseerige soojusväli ja kristall kasvab loomulikult hästi{0}}see on meie pooljuhtmolübdeenvarrastesse investeerimise fookus.
Ava
